微細加工技術雜志收錄論文類型主要包括：綜述、電子束技術、離子束技術、光子束技術、薄膜技術、微機械加工技術、納米技術等。
雜志論文要求：
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4、關鍵詞一般3~8個，要規(guī)范，必須是名詞或名詞性詞組，所有關鍵詞要便于檢索和索引。
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微細加工技術雜志是由信息產業(yè)部主管，中國電子科技集團公司第48研究所主辦的統(tǒng)計源期刊，影響因子為：0.19。順應社會的發(fā)展，雜志獲得了多項榮譽：Caj-cd規(guī)范獲獎期刊、北大圖書館收錄期刊等。
雜志往期論文摘錄展示
電子束環(huán)氧基負膠的曝光反應機理分析
環(huán)境因素對微納加工中精確定位影響的研究
電子束直寫中X射線光刻掩模的熱形變研究
飛秒激光應用于合金材料微細加工的試驗研究
光刻機試驗運動裝置振動信號的時頻分析
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